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•通过将影像与WLI光学测头的结合使用,可以实现更出人意料的高效率和精准性。
•配备了白光干涉仪的高精度双测头影像测量系统。
•一台测量机可执行尺寸测量、高度/表面纹理评估等多任务测量。
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规格
型号 | Hyper QV WLI 302 |
Hyper QV WLI 404 |
Hyper QV WLI 606 |
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类型 | 标准 |
标准 |
标准 |
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测量范围(XxYxZ) | 影响测量区域 |
300×200×190mm |
400×400×240mm | 600×650×220mm |
WLI测量区域 |
300×200×190mm |
315×400×240mm | 515×650×220mmm | |
WLI测量区域 | ||||
视野 (H×V) | 5X镜头: 约0.64 × 0.48mm / 10X镜头: 约0.32×0.24mm / 25X镜头: 约0.13×0.10mm | |||
重复精度 | 2σ ≤ 0.08μm | |||
影像光学测头装置 | ||||
倍率装置 | 可编程电动转台1X -2X -6X | |||
影像装置 | 黑白 CCD (1/2型) | |||
测量精度 | E1x,E1y | (0.8+2L/1000)μm | ||
E1z | (1.5+2L/1000)μm | |||
E2 | (1.4+3L/1000)μm |
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