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•高精度CNC影响测量系统ULTRA QV404PRO,具有高水平的测量精度E1XY: (0.25+L/1000)μm。
•Y轴采用高刚性固定桥式移动工作台设计,X和Y轴导轨具有出色的耐磨性。底座采用具热稳定性强的岩石平板。
•采用膨胀系数几乎为零的微晶玻璃材质,分辨率高达0.01μm的高精度光栅尺。通过“自吸型垫”,实现了Y轴的高刚性化,将滚珠丝杠浮动机构带来的误差控制在最小限度,并提高行驶速度。
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规格
型号 | QA-Active 202 | ||
类型 | 标准 | ||
测量范围(XxYxZ) |
250x200x150mm |
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倍率装置 | 可编程电动转台 1X -2X -6X | ||
影像装置 | 黑白CCD (1/2型) | ||
测量精度 | X-Y轴 | (0.25+L/1000)μm | |
Z轴全行程 | (1.5+2L/1000)μm(范围200mm) | ||
Z轴50mm行程 | (1.0+2L/1000)μm(范围10-60mm) | ||
XY平面 | (0.5+2L/1000)μm |
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